產(chǎn)品[
General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
]資料
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產(chǎn)品名稱: General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商:
MKS
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器。
精度為設(shè)定值的正負(fù)1%，響應(yīng)速度快于500毫秒，不同氣體以及量程間自由切換。
Ethernet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字（RS-485，DeviceNet，Profibus）通訊接口可選。
General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器的詳細(xì)介紹
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GE50A 橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從10sccm-50slm。
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GM50A 金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從10sccm-50slm。