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反應氣體發(fā)生器
]資料
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產品名稱: 反應氣體發(fā)生器
產品型號:
產品展商:
MKS
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簡單介紹
ASTRON系列遠程等離子體電源
反應氣體發(fā)生器的詳細介紹
基于NF3等含氟氣體電力，產生活性氣體，廣泛應用于CVD等工藝腔清洗，它具有功能大，效率高等特點。
產品有：
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ASTRON i-AX7670(3升)
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ASTRON ex-AX7685(6升)
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ASTRON hf-s-AX7645(15升,分體式）
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ASTRON hf-AX7640（15升）
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ASTRON hf+AX7635（22升）
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ASTRON hf++AX7667（30升）