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氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理與結(jié)構(gòu)
氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于 檢漏 的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是 真空檢漏 技術(shù)中靈敏度*高，用得*普遍的 檢漏儀器 。
氦質(zhì)譜檢漏儀的 工作原理與結(jié)構(gòu)
氦質(zhì)譜檢漏儀 由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
1、單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀
現(xiàn)以 HZJ — l 型儀器為例．介紹單級磁偏轉(zhuǎn)型 氦質(zhì)譜檢漏儀 。
在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；**級放大靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)。
在離化室 N 內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過加速極 S1 的縫隙進(jìn)入分析器。在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運(yùn)動，其偏轉(zhuǎn)半徑可計(jì)算。
可見，當(dāng) B 和 U 為定值時(shí)，不同質(zhì)荷比 me-1 的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑 R 不同。儀器的 B 和 R 是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓 U 使氦離子束恰好通過出口縫隙 S2 ，到達(dá)收集器 D ，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束 [(me-1)1(me-1)3] 因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的 R 值不同無法通過出口縫隙 S2 ，所以被分離出來。 (me-1)2=4 ，即 He+ 的質(zhì)荷比，除 He+ 之外， C 卅很少，可忽略。
2、雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀
由于兩次分析，減少了非氦離子到達(dá)收集器的機(jī)率。并且，如在兩個分析器的中間，即中間縫隙 S2 與鄰近的擋板間設(shè)置加速電場，使離子在進(jìn)入**個分析器前再次被加速。那些與氦離子動量相同的非氦離子，雖然可以通過**個分析器，但是，經(jīng)**次加速進(jìn)入**個分析器后，由于其動量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。
3、逆流氦質(zhì)譜檢漏儀
該類儀器是根據(jù)油擴(kuò)散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如，多級油擴(kuò)散泵對氦氣的壓縮比為 102 ；對空氣中其它成分的壓縮比為 lO4 ～ 106 。 檢漏 時(shí)，通過被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。這就是逆流 氦質(zhì)譜檢漏儀 的工作原理。
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