質量流量控制器是用來對各種氣體的質量流量進行進行精密測量與控制的一種儀器，他大量用于電子工藝設備中，如擴散，氧化，外延，CVD，等離子刻蝕等，以及鍍膜設備，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等行業(yè)。 質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由流量傳感器、流量調節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
技術參數(shù)：
流量規(guī)格：0~330sccm(mL/MIN)
準確度：±0.2%F.S
線性：±0.1%F.S
重復精度：±0.1%F.S
工作壓差范圍：0~0.45MPa
*大耐壓：1MPa
工作環(huán)境溫度：0~65℃
電氣連接：DB9
輸出信號：RS232、RS485、CAN、(RS485及CAN帶電氣隔離）
電源：15~40VDC
標準氣路接頭：M8*1
氣路管徑：3.2mm
可以測量的氣體類別：Ar、N2、O2、Air、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2
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